[发明专利]一种加工三维石英微机械陀螺音叉侧电极的方法有效
| 申请号： | 201510142038.7 | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104819711B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 段亚飞;裴志强;张琳琳 | 申请（专利权）人： | 北京晨晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5628 | 分类号： | G01C19/5628;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨;练光东 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种加工三维石英微机械陀螺音叉侧电极的方法，包括：在石英晶片上依次形成多层金属层，采用光刻‑湿法腐蚀方法刻蚀多层金属层及石英晶片，形成三维石英微机械陀螺音叉结构和表面电极；以光刻胶为掩膜，对三维述石英微机械陀螺音叉基片进行溅射镀膜，形成侧面电极、减薄梁电极和表面电连接电极；剥离所述光刻胶，得到三维石英微机械陀螺音叉侧电极。本发明极大地简化了制备工艺流程，工艺兼容性好且易于加工，适用于大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 三维 石英 微机 陀螺 音叉 电极 方法 | ||
【主权项】：
1.一种加工三维石英微机械陀螺音叉侧电极的方法，其特征在于，所述方法包括：在石英晶片上依次形成多层金属层，采用光刻‑湿法腐蚀方法刻蚀所述多层金属层及石英晶片，形成三维石英微机械陀螺音叉结构和表面电极；以光刻胶为掩膜，对所述三维述石英微机械陀螺音叉基片进行溅射镀膜，形成侧面电极、减薄梁电极和表面电连接电极；其中，在溅射镀膜过程中，通过调整所述石英晶片与靶材的夹角来获得所述侧面电极；剥离所述光刻胶，得到三维石英微机械陀螺音叉侧电极。
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