[发明专利]测试分选机及其推进装置、测试托盘以及测试机用接口板

摘要

本发明涉及一种测试分选机及其推进装置、测试托盘以及测试机用接口板。根据本发明的测试分选机具有接触部分，该接触部分电接触于半导体元件的表面以用于测量半导体元件的表面电阻，测试机用接口板具有测量端子，该测量端子能够与接触部分电连接并输出可用于测量半导体元件的表面电阻的信号。其中，测试分选机的接触部分也可以配备于推进装置或测试托盘之类的配件中。根据本发明，由于连半导体元件的表面电阻也可以测量，因此可提高测试的可靠性。

主权项

1.一种测试分选机用推进装置，其特征在于，包括：推进器，与配备于测试机的接口板的测试插座对向而支撑被安置于测试托盘的插入件的半导体元件，从而将半导体元件电连接于所述测试插座，所述测试托盘由设置框架和插入件构成，并沿闭合路径循环；推进器设置板，用于设置所述推进器；移动源，用于使所述推进器设置板向所述接口板移动；接触端子，设置于所述推进器，且接触于借助所述推进器而电连接于所述测试插座的半导体元件的表面；以及连接电路，设置于所述推进器，用于将所述接触端子电连接于设置于所述接口板的测试插座的测量端子，该测量端子输出用于测量半导体元件表面的屏蔽层的电阻的信号，所述插入件包括：插入件主体，形成有用于安置半导体元件的安置槽；固定杠杆，用于将安置于所述安置槽的半导体元件固定于所述安置槽；以及弹性部件，向所述固定杠杆将半导体元件固定到所述安置槽的方向施加弹性力，在半导体元件借助所述固定杠杆而被固定在所述安置槽的状态下，所述插入件布置在所述推进器和所述测试插座之间，所述接触端子通过所述插入件而与所述连接电路电连接，置于所述插入件的半导体元件的引出端子电连接于所述测试插座的测试端子，所述测量端子电连接于所述连接电路，从而借助测试机同时测试半导体元件的电学特性和表面电阻，因此能够判断电学特性是否不良以及屏蔽层的形成是否不良。