[发明专利]激光脉冲调制装置有效
| 申请号： | 201510145145.5 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN104734003B | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 叶昱均 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司;武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/06 | 分类号： | H01S5/06 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光脉冲调制装置，其包括第一激光源、第二激光源以及第一偏振分光镜；第一激光源用于产生振动方向与传播方向平行的第一线偏振脉冲激光，第二激光源用于产生振动方向与传播方向垂直的第二线偏振脉冲激光，第一偏振分光镜用于对第一线偏振脉冲激光和第二线偏振脉冲激光进行叠加，以形成第一整合脉冲激光。本发明的激光脉冲调制装置使用双激光源形成功率及脉冲宽度合适的整合激光脉冲，提高了激光退火过程中的可调制性,增加工艺中加工余量。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 脉冲调制 装置 | ||
【主权项】：
一种激光脉冲调制装置，其特征在于，包括：第一激光源，用于产生振动方向与传播方向平行的第一线偏振脉冲激光；第二激光源，用于产生振动方向与传播方向垂直的第二线偏振脉冲激光；第一偏振分光镜，用于对所述第一线偏振脉冲激光和所述第二线偏振脉冲激光进行叠加，以形成第一整合脉冲激光；第二分光镜，用于对所述第一整合脉冲激光进行分光处理，以形成第一分光激光以及第二分光激光；以及反射镜组合，用于将所述第二分光镜出射的第二分光激光反射至所述第二分光镜；其中所述第一整合脉冲激光的脉冲宽度大于所述第一线偏振脉冲激光的脉冲宽度，所述第一整合脉冲激光的脉冲宽度大于所述第二线偏振脉冲激光的脉冲宽度。
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