[发明专利]一种实现在线电阻率调试的单晶炉及其控制方法

摘要

本发明公开了一种实现在线电阻率调试的单晶炉及其控制方法，所述单晶炉包括顶部的副腔室与底部的加热腔室，所述副腔室与加热腔室之间设有活动隔板，所述副腔室的侧壁安装有伸缩杆和加料腔室，所述伸缩杆为硬质空心杆，所述硬质空心杆的杆头上安装有电阻率测试探头，所述电阻率测试探头的连接导线处于硬质空心杆中；所述加料腔室带有内外密封盖板并连接有惰性气体管路。本发明通过设置活动隔板割离副腔室与加热腔室，并在副腔室侧壁安装带探头的伸缩杆和可独立封闭的加料腔室，从而可方便及时地根据需要随时在硅熔液中加入不同掺杂剂，对电阻率进行在线调节，大大提高拉制单晶硅棒的质量。

主权项

一种实现在线电阻率调试的单晶炉的控制方法，所述单晶炉包括顶部的副腔室(11)与底部的加热腔室(10)，所述副腔室(11)与加热腔室(10)之间设有活动隔板(5)，所述副腔室(11)的侧壁安装有伸缩杆(2)和加料腔室(1)，所述伸缩杆(2)为硬质空心杆，所述硬质空心杆的杆头上安装有电阻率测试探头(201)，所述电阻率测试探头(201)的连接导线处于硬质空心杆中；所述加料腔室(1)带有内外密封盖板并连接有惰性气体管路，其特征在于，所述控制方法包括如下步骤：a)保持活动隔板(5)为打开状态，保持加料腔室(1)的内外密封盖板为关闭状态形成独立的密封腔，先用籽晶引晶得到小块单晶体(4)；b)用丝绳(3)向上将小块单晶体(4)提拉出加热腔室(10)，然后将副腔室(11)与加热腔室(10)之间的活动隔板(5)盖好；c)待小块单晶体(4)冷却至预定的温度时，将副腔室(11)中的伸缩杆(2)推出，使得电阻率检测探头(201)接近小块单晶体(4)，测量出小块单晶体(4)预定位置的电阻率；d)若电阻率符合预定要求，打开活动隔板(5)直接进行单晶拉制；否则打开加料腔室(1)的外密封盖板，添加掺杂剂到加料腔室(1)中；e)封闭加料腔室(1)的外密封盖板，打开加料腔室(1)的内密封盖板，并通入惰性气体将掺杂剂顺着气体的流向由副腔室(11)带到加热腔室(10)的硅熔液表面；静置10～30分钟后，待掺杂剂在硅熔液中扩散均匀后再进行单晶拉制。