[发明专利]一种丝网印刷工艺制备铜铟镓硒薄膜的方法在审
申请号: | 201510146529.9 | 申请日: | 2015-03-31 |
公开(公告)号: | CN104810431A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 卫国 | 申请(专利权)人: | 安徽省嘉信包装印务有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/032 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种丝网印刷工艺制备铜铟镓硒薄膜的方法,涉及丝网印刷技术领域,CuIn0.75Ga0.25Se2颗粒通过行星球磨机研磨获得均匀的CIGS纳米粉末,玛瑙球与CIGS纳米粉末按照质量比36:1,再加入乙醇,通过行星球磨机,研磨30-35h,得到混合纳米粉末,混合纳米粉末与乙基纤维素、乙醇、松油醇混合,经机械搅拌超声振荡10-12h后,用旋蒸仪分离溶液中的乙醇,得到CIGS胶体浆料,采用丝网印刷工艺制备前驱层,经高温后处理方式处理后可以获得致密均匀单一相的CIGS薄膜,工艺简单,制得的CIGS薄膜的结晶性好,薄膜成分较纯,质量好。 | ||
搜索关键词: | 一种 丝网 印刷 工艺 制备 铜铟镓硒 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种丝网印刷工艺制备铜铟镓硒薄膜的方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)原料准备: CuIn0.75Ga0.25Se2颗粒,玛瑙球,乙醇,乙基纤维素,松油醇;(2)将步骤(1)中的CuIn0.75Ga0.25Se2颗粒通过行星球磨机研磨获得均匀的CIGS纳米粉末;(3)将步骤(1)中的玛瑙球与步骤(2)中的CIGS纳米粉末按照质量比36:1, 再加入乙醇, 通过行星球磨机,研磨30‑35h,得到混合纳米粉末;(4)将步骤(3)中的混合纳米粉末与乙基纤维素、乙醇、松油醇混合, 经机械搅拌超声振荡10‑12h后, 用旋蒸仪分离溶液中的乙醇, 得到CIGS胶体浆料;(5)在石英玻璃基底上通过丝网印刷CIGS胶体获得CIGS前驱层, 经管式炉高温处理得到CIGS薄膜。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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