[发明专利]光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法

摘要

光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法涉及光学测量技术领域，该方法采用四根光纤剪切的方式或者采用两根光纤加旋转的方式，对光纤衍射参考波前在两个正交方向的偏差进行评价，从而实现了从实验上完整考察光纤衍射参考波前偏差，可以解决光纤衍射参考波前偏差测量的难题。本发明通过将光纤衍射产生的两个球面波直接进行相互垂直的两个正交方向的剪切干涉，从剪切干涉图中可获得光纤衍射参考波前沿两个正交方向的偏差，克服了用更高检测设备的要求，避免了单一方向评价光纤衍射参考波前偏差的不足。

主权项

1.光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于：采用四根光纤进行剪切干涉测量，包括以下步骤：步骤一：短相干长度的激光器发出的激光经过中性密度滤光片和1/2波片后，经第一偏振分光棱镜分出两路光：一路光经过第一1/4波片、第一角锥棱镜和第一平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第一偏振片后，通过第一耦合透镜耦合入第一光纤；另一路光经过第二1/4波片、第二角锥棱镜和第二平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第二偏振片后，通过第二耦合透镜耦合进入第三光纤中，第一光纤和第三光纤衍射分别产生第一球面波和第二球面波，两个球面波发生干涉叠加，直接用CCD记录干涉条纹；步骤二：调节1/2波片，使第二偏振分光棱镜分出的两路光的光强基本一致，旋转第一偏振片和第二偏振片，使进入第一光纤和第三光纤的两束光波的偏振态基本一致，从而提高干涉条纹的对比度；步骤三：调节第一角锥棱镜，使两路光的光程相等，进一步提高干涉条纹的对比度；步骤四：调节第二角锥棱镜进行移相，由CCD记录干涉图，在计算机中进行图像处理后获得两路光的光程差，从光程差中去除第一光纤和第三光纤的间距引入的彗差和CCD倾斜引入的像散，便可获得两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上的偏差；步骤五：改变第一光纤和第三光纤的夹角，重复步骤四，获得不同夹角下，两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上的偏差，比较两光纤衍射参考波前在不同夹角下的这些偏差，求得光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上相对于理想球面的偏差；步骤六：将第一光纤和第三光纤拔出，重新将光路耦合入第二光纤和第四光纤，重复步骤四和步骤五，获得光纤衍射参考波前沿第二光纤和第四光纤连线方向上相对于理想球面的偏差；步骤七：由步骤五和步骤六，便完成了光纤衍射参考波前沿两个正交方向上相对于理想球面偏差的测量。