[发明专利]压力分布传感器、压力分布测量方法以及机械手

摘要

本发明的课题在于在编织了致动器片段的形态的传感器中测量压力分布。为此，本发明的压力分布传感器具有：传感器元件，其将具有第1电极以及第2电极的电流驱动型的多个致动器片段沿第1方向以及与该第1方向不同的第2方向进行配置；和与致动器片段的数量相应的传感电路。传感电路具有：第1端子，其与第1电极电连接；第2端子，其与第2电极电连接；第3端子，其输入用于选择第1电极以及第2电极中的一方的电极选择信号；第4端子，其输入用于从多个致动器片段中选择致动器片段的片段选择信号；和第5端子，其输出从通过片段选择信号而选择的致动器片段中经由通过电极选择信号而选择的电极所得到的信号。

主权项

一种压力分布传感器，其特征在于，包含：第1致动器片段，其配置于第1方向；第2致动器片段，其配置于与所述第1方向不同的第2方向；第1传感电路，其与所述第1致动器片段连接；第2传感电路，其与所述第2致动器片段连接；和差动放大器，其以所述第1传感电路的输出以及所述第2传感电路的输出为输入，所述第1致动器片段具有第1电极以及与所述第1电极对置配置的第2电极，所述第2致动器片段具有第3电极以及与所述第3电极对置配置的第4电极，所述第1致动器片段以及所述第2致动器片段重叠地配置，使得所述第2电极和所述第3电极、或所述第1电极和所述第4电极接触。