[发明专利]玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置有效
| 申请号： | 201510148367.2 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN104944739B | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 藤本慎吾;河崎裕之 | 申请（专利权）人： | 安瀚视特控股株式会社 |
| 主分类号： | C03B5/425 | 分类号： | C03B5/425 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置。所述玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置抑制铂族金属被氧化而挥发。本发明提供一种使用处理熔融玻璃的处理装置来处理熔融玻璃的玻璃基板的制造方法。以在熔融玻璃的液面的上部形成气相空间的方式，对内壁的至少一部分包含含有铂族金属的材料的处理装置的内部供给熔融玻璃，使对铂族金属不活泼的气体流入至气相空间，从连接气相空间与处理装置的外部空间的排气口抽吸气相空间内的气体，测量从排气口抽吸的气体中的氧浓度，以使氧浓度成为5.0％以下的范围的方式，调节对铂族金属不活泼的气体朝气相空间的流入量。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 铂族金属 熔融玻璃 处理装置 气相空间 制造装置 排气口 制造 外部空间 抽吸气 流入量 挥发 抽吸 测量 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板的制造方法，使用处理熔融玻璃的处理装置来处理熔融玻璃，当利用澄清剂的氧化还原反应处理熔融玻璃时，以在熔融玻璃的液面的上部形成气相空间的方式，对内壁的至少一部分包含含有铂族金属的材料的处理装置的内部供给熔融玻璃，通过从连接所述气相空间与所述处理装置的外部空间的排气口抽吸所述气相空间内的气体，使对铂族金属不活泼的气体流入至所述气相空间，测量从所述排气口抽吸的气体中的氧浓度，以使所述氧浓度成为5.0(v/v)％以下的范围的方式，调节所述对铂族金属不活泼的气体朝所述气相空间的流入量，所述流入量的调节是通过控制用以从所述排气口排出的所述气体的抽吸压力而进行。
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