[发明专利]制造方法及制造装置

摘要

本发明涉及制造方法及制造装置。本发明由更简易的结构实现从两面板的搬运到面板彼此的对位。具备分别检测各面板的位置的位置检测工序和沿规定的方向朝作业区域分别搬运各面板的搬运工序。在设定工序中，基于各面板的位置检测结果控制各面板的搬运量，以便粘合位置一致。

主权项

一种制造方法，使第一面板和第二面板粘合来制造层叠体；其特征在于，具备位置检测工序、第一搬运工序、第二搬运工序和修正工序；该位置检测工序分别检测上述第一面板及上述第二面板的位置；该第一搬运工序朝使上述第一面板和上述第二面板重叠并粘合的作业区域地在第一方向搬运上述第一面板；该第二搬运工序朝上述作业区域地在第二方向搬运上述第二面板；该修正工序对上述第一面板或上述第二面板的至少任意一方的姿势进行修正；在上述第一搬运工序中，基于由上述位置检测工序所获得的上述第一面板的位置检测结果和上述第二面板的位置检测结果对上述第一面板的上述第一方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致；在上述第二搬运工序中，基于上述第二面板的上述位置检测结果和上述第一面板的上述位置检测结果对上述第二面板的上述第二方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致；在上述修正工序中，为了基于上述第一面板及上述第二面板的上述位置检测结果修正姿势，使面板绕与上述第一方向及上述第二方向双方正交的第三方向的轴旋转。