[发明专利]包含含氮化合物的光致抗蚀剂有效
| 申请号： | 201510148671.7 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN104698749B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 刘骢;C·吴;G·泊勒斯;G·P·普罗科波维奇;C-B·徐 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/11;G03F7/20;C07C271/16 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈哲锋<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 包含含氮化合物的光致抗蚀剂。提供一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包括：(a)一种或多种树脂；(b)一种或多种光酸产生剂化合物；和(c)一种或多种含氮化合物，所述含氮化合物各自包含1)两个或更多个羟基取代基和2)一个或多个光酸不稳定基团。 | ||
| 搜索关键词： | 含氮化合物 光酸产生剂化合物 光致抗蚀剂组合物 光致抗蚀剂 羟基取代基 稳定基团 树脂 光酸 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包括：/n(a)一种或多种树脂；/n(b)一种或多种光酸产生剂化合物；和/n(c)一种或多种含氮化合物，所述含氮化合物具有下述通式(IID)/n
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