[发明专利]研磨装置及研磨方法有效
| 申请号： | 201510148861.9 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN104942699B | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 並木计介;安田穗积;锅谷治;福岛诚;富樫真吾;山木晓;矶野慎太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/32;B24B37/005;B24B37/015;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 梅高强;刘煜 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可抑制基板保持部件的保持环形状的每个保持环的偏差和经时变化所带来的研磨外形的重现性下降。该研磨装置具有：研磨头(1)，该研磨头将基板(W)按压到研磨垫(101)上并具有将被按压到研磨垫(101)上的基板(W)包围的挡环(3)；测定用传感器(51)，该测定用传感器对挡环(3)的表面形状进行测定；以及控制部(500)，该控制部根据由测定用传感器(51)测定的挡环(3)的表面形状来决定基板(W)的研磨条件。 | ||
| 搜索关键词： | 测定用传感器 挡环 基板 按压 研磨装置 研磨 研磨垫 研磨头 板保持部件 经时变化 研磨条件 环形状 抑制基 重现性 包围 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，其特征在于，具有：基板保持部件，该基板保持部件将基板按压到研磨垫，并具有将被按压在所述研磨垫上的所述基板包围的保持环；测定单元，该测定单元对所述保持环的内周面的表面形状进行测定；以及控制部，该控制部基于由所述测定单元测定的所述保持环的表面形状，来决定所述基板的研磨条件，所述测定单元在水平方向上配置在所述保持环的内周面的内侧，且所述测定单元配置为朝斜上方或实质上水平。
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