[发明专利]一种掩膜版装载盒

摘要

一种掩膜版装载盒，包括：掩膜版容置腔室；底部，设置在掩膜版容置腔室之底端，并在底部间隔设置相互独立的通孔，且通孔沿着掩膜版容置腔室之方向的末端与底部之紧邻掩膜版容置腔室的一侧设置呈非密闭式连接的阻隔板；密闭孔塞和通气孔塞，密闭孔塞和通气孔塞之大小均与底部之通孔的大小相匹配，并用于插塞通孔。本发明通过在底部上间隔设置通孔，并设置与通孔相匹配的密闭孔塞和通气孔塞，不仅可以选择性的实现掩膜版装载盒之可充气型功效、不可充气型功效，以及不同气体的充气选择控制功效，而且集成度高、使用方便，极大提高了掩膜版装载盒的使用灵活性，降低了生产成本。

主权项

1.一种掩膜版装载盒，其特征在于，所述掩膜版装载盒，包括：掩膜版容置腔室，用于容置待存放之掩膜版；底部，设置在所述掩膜版容置腔室之底端，并在所述底部间隔设置相互独立的通孔，且所述通孔沿着所述掩膜版容置腔室的底端与所述底部之紧邻掩膜版容置腔室的一侧设置呈非密闭式连接的阻隔板；密闭孔塞和通气孔塞，所述密闭孔塞和所述通气孔塞之大小均与所述底部之通孔的大小相匹配，并用于插塞所述通孔，所述底部之通孔内选择性的插塞密闭孔塞和通气孔塞；所述密闭孔塞与所述阻隔板之总高度与所述通孔的高度相等。