[发明专利]一种刮伤重复实验快速验证方法在审
| 申请号： | 201510149480.2 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN104729910A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 叶林;许向辉;陈广龙 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/00 | 分类号： | G01N3/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种刮伤重复实验快速验证方法，包括：氮化物生长步骤，用于在重复性实验控片的二氧化硅层上生长一层氮化物层；马拉松实验步骤，用于使得生长有氮化物层的重复性实验控片在待检测机台上进行重复性马拉松实验；缺陷放大步骤，用于将完成马拉松实验步骤的重复性实验控片浸入到氢氟酸中，并且在预定时间之后将重复性实验控片从氢氟酸中取出，在清洗重复性实验控片后将重复性实验控片放入缺陷检测机台进行扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 重复 实验 快速 验证 方法 | ||
【主权项】：
一种刮伤重复实验快速验证方法，其特征在于包括：氮化物生长步骤，用于在重复性实验控片的二氧化硅层上生长一层氮化物层；马拉松实验步骤，用于使得生长有氮化物层的重复性实验控片在待检测机台上进行重复性马拉松实验；缺陷放大步骤，用于将完成马拉松实验步骤的重复性实验控片浸入到氢氟酸中，并且在预定时间之后将重复性实验控片从氢氟酸中取出，在清洗重复性实验控片后将重复性实验控片放入缺陷检测机台进行扫描。
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