[发明专利]槽加工头的集尘机构及槽加工装置有效
| 申请号： | 201510151662.3 | 申请日： | 2015-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN105269389B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 片桐直树 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q11/00 | 分类号： | B23Q11/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本案发明涉及一种槽加工头的集尘机构及槽加工装置。本发明的课题在于不使使用槽加工头进行槽加工时所产生的粉尘吸附在基板上便可进行抽吸。在槽加工头的底面板(33)的工具(32)突出的附近设置具有吸气口的集尘罩(40)。在使用槽加工头(30)对基板(W)进行槽加工时，利用鼓风机(35)并经由管道(34)抽吸集尘罩(40)的空气。如果这样，那么可将因槽加工而产生的粉尘在吸附在基板(W)之前吸入至集尘罩(40)的吸气口。 | ||
| 搜索关键词： | 工头 集尘 机构 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种槽加工头的集尘机构，具备：槽加工头；集尘罩，设置在所述槽加工头的下部；以及集尘机，自所述集尘罩经由管道抽吸空气；且所述槽加工头具有保持使刀尖位于下方的工具的工具保持器，所述集尘罩具有：壳体的本体，具有底面板且上表面开放；开口，形成在所述底面板，使所述槽加工头的工具突出；以及框状的隔断部，设置在所述壳体的所述本体的内部，以与所述工具保持器之间隔开固定间隔的方式自所述开口部朝向上方设置；且以所述工具的前端自所述开口向下方突出的方式安装，在所述底面板的所述开口与所述隔断部之间形成有空气的吸气口。
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