[发明专利]一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置及其应用

摘要

本发明涉及一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置及其应用，该装调装置基于色散共焦检测，包括镜片装配单元、位移传感单元及垫片研磨单元，镜片装配单元包括用于放置待装调镜片的物镜底座，以及带动物镜底座上下、左右、前后移动的六维电控位移平台；位移传感单元包括一维调节平台、与一维调节平台连接的位移传感器定位支架、以及夹持在位移传感器定位支架上的色散共焦位移传感器；垫片研磨单元包括U型支架、设在U型支架上的气浮轴，以及与气浮轴连接的研磨头。与现有技术相比，本发明通过色散共焦位移传感器对镜面的扫描，可以实现高精度的镜片装调，也能够对已经安装完毕的物镜进行定标，克服了原先龙虾眼物镜间隔难以控制的难点。

主权项

一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置，其特征在于，该装调装置包括：镜片装配单元：包括用于放置待装调镜片的物镜底座(5)，以及与物镜底座(5)连接的六维电控位移平台(4)，六维电控位移平台(4)带动物镜底座(5)上下、左右、前后移动；位移传感单元：包括位于六维电控位移平台(4)一侧的一维调节平台(3)、与一维调节平台(3)连接的位移传感器定位支架(2)、以及夹持在位移传感器定位支架(2)上的色散共焦位移传感器(1)，所述的色散共焦位移传感器(1)通过光纤连接色散共焦位移计控制器，通过色散共焦位移计控制器控制色散共焦位移传感器(1)；垫片研磨单元：包括位于六维电控位移平台(4)另一侧的U型支架(7)、设在U型支架(7)上的气浮轴(8)，以及与气浮轴(8)连接的研磨头(9)；所述的六维电控位移平台(4)包含3台超精密滚珠螺杆传动线性滑块导轨电控平移台、1台360°电动精密转台及1台二维电动精密弧摆台，3台电控平移台通过螺钉连接且相互正交，分别沿x、y、z轴设置，沿x轴方向安装的电控平移台固定在光学平台上，其余两个电控平移台依次互相连接，360°电动精密转台安装在沿z轴设置的电控平移台上，二维电动精密弧摆台安装在360°电动精密转台上；所述的物镜底座(5)设置在物镜转接板(6)上，所述的物镜转接板(6)设置在六维电控位移平台(4)上的二维电动精密弧摆台上；该装调装置还包括在装配时与镜片装配单元配合使用的镜片施压件(11)及配重块(12)，所述镜片施压件(11)为高分子聚合物材质，其与镜片接触部分的材质为橡胶，所述镜片施压件(11)上方中空，所述镜片施压件(11)在镜片安装完毕后置于镜片上方，所述的配重块(12)叠放在镜片施压件(11)上。