[发明专利]凹凸检测装置

摘要

本发明提供凹凸检测装置，其具有脉冲点亮光源，其发出具有规定的波段的光；第1集束透镜，其对脉冲点亮光源发出的光进行集束；半透半反镜，其使第1集束透镜集束的光分支；色差透镜，其会聚分支后的光并对被加工物照射；第1聚光透镜，其会聚被被加工物反射并通过了色差透镜和半透半反镜的返回光；掩模，其配置于第1聚光透镜的聚光点位置上，仅使被会聚的返回光通过；第2集束透镜，其对返回光进行集束；衍射光栅，其对应于返回光的波长进行分光；第2聚光透镜，其会聚被衍射光栅分光的返回光；摄像元件，其配设于第2聚光透镜的聚光点位置处；控制构件，其存储由摄像元件生成的图像；以及输出构件，其显示存储于控制构件的存储器中的图像。

主权项

一种凹凸检测装置，其检测保持于被加工物保持构件上的被加工物的凹凸，该凹凸检测装置的特征在于，具有：脉冲点亮光源，其发出具有规定的波段的光；第1集束透镜，其对由该脉冲点亮光源发出的光进行集束；半透半反镜，其对由该第1集束透镜集束后的光进行分支；色差透镜，其会聚由该半透半反镜分支后的光而对保持于该被加工物保持构件上的被加工物进行照射；第1聚光透镜，其会聚被保持于该被加工物保持构件上的被加工物反射且通过了该色差透镜和该半透半反镜的返回光；掩模，其配设于该第1聚光透镜的聚光点位置处，仅使会聚的返回光通过；第2集束透镜，其对通过了该掩模的返回光进行集束；衍射光栅，其与由该第2集束透镜集束后的返回光的波长对应地进行分光；第2聚光透镜，其会聚由该衍射光栅进行分光后的返回光；摄像元件，其配设于该第2聚光透镜的聚光点位置处；控制构件，其具有存储由该摄像元件生成的图像的存储器；以及输出构件，其显示存储于该控制构件的存储器中的图像，在以检测区域的宽度方向为Y轴方向、且以长度方向为X轴方向的情况下，该掩模形成有在Y轴方向上延伸的缝，其中，在该检测区域中，对保持于该被加工物保持构件上的被加工物的凹凸进行检测，该摄像元件根据通过了形成于该掩模上的缝的返回光生成Y轴方向上的2维截面形状。