[发明专利]激光气体估计装置

摘要

提供一种能够估计激光气体的组成比的激光气体估计装置。激光气体估计装置具备具有使激光气体循环的送风机、放电管、对送风机供给电力的送风机电源部以及对放电管供给电力的放电管电源部的激光振荡器；检测激光气体的气压、施加到送风机的送风机电压、供给到送风机的送风机电流、施加到放电管的放电管电压以及供给到放电管的放电管电流的检测部；以及基于由检测部检测出的检测值估计激光气体的组成比的组成比估计部。

主权项

一种激光气体估计装置，估计以二氧化碳气体、氮气以及氦气中的多个为主成分的激光气体的组成比，该激光气体估计装置的特征在于，具备：激光振荡器，上述激光气体被封入在该激光振荡器中，该激光振荡器具有使上述激光气体循环的送风机、放电管、对上述送风机供给电力的送风机电源部以及对上述放电管供给电力的放电管电源部；检测部，其检测被封入在上述激光振荡器内的激光气体的气压、施加到上述送风机的送风机电压、供给到上述送风机的送风机电流、施加到上述放电管的放电管电压以及供给到上述放电管的放电管电流中的至少一个；以及组成比估计部，其基于由上述检测部检测出的检测值估计激光气体的组成比，其中，施加到上述送风机的送风机电压、供给到上述送风机的送风机电流、施加到上述放电管的放电管电压以及供给到上述放电管的放电管电流是激光气体的气压的函数，上述组成比估计部使用以激光气体的组成比为参数的、参数的合计值为100％的方程式以及如下四个方程式中的至少一个方程式，来运算与上述检测值对应的组成比，其中上述四个方程式均以激光气体的组成比为参数，并且分别为：与各气体成分对应的送风机电压与施加到上述送风机的送风机电压的关系的方程式、与各气体成分对应的送风机电流与供给到上述送风机的送风机电流的关系的方程式、进行放电的期间内的与各气体成分对应的放电管电压与施加到上述放电管的放电管电压的关系的方程式以及进行放电的期间内的与各气体成分对应的放电管电流与供给到上述放电管的放电管电流的关系的方程式。