[发明专利]双门闸阀装置及具双门闸阀装置的镀膜设备在审
申请号: | 201510160155.6 | 申请日: | 2015-04-07 |
公开(公告)号: | CN104928645A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 黄一原;卢木森;陈文隆 | 申请(专利权)人: | 凌嘉科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 张雅军 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种双门闸阀装置包含一个基座、两个闸门单元,及一个输送单元。该基座包括一个环腔壁、一个位于该环腔壁一端且具有一个入阀口的入口端壁、一个位于该环腔壁另一端且具有一个出阀口的出口端壁、一个介于该入口端壁与该出口端壁之间且具有一个间阀口的间隔壁,及一个抽气孔。该环腔壁、该入口端壁与该间隔壁共同界定出一个缓冲腔。该环腔壁、该间隔壁与该出口端壁共同界定出一个衔接腔。所述闸门单元分别对应设置于该缓冲腔内与该衔接腔内,且分别用于启闭该入阀口与该间阀口,产生双重隔离的效果,此外,该入口端壁与该出口端壁的距离不大于500mm,使设备成本得以降低。 | ||
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【主权项】:
一种双门闸阀装置,包含一个基座、两个闸门单元,及一个输送单元;其特征在于:该基座包括一个环腔壁、一个位于该环腔壁一端且具有一个入阀口的入口端壁、一个位于该环腔壁另一端且具有一个出阀口的出口端壁、一个介于该入口端壁与该出口端壁之间且具有一个间阀口的间隔壁,及一个抽气孔,该环腔壁、该入口端壁与该间隔壁之间共同界定出一个缓冲腔,该环腔壁、该间隔壁与该出口端壁之间共同界定出一个衔接腔,该入口端壁与该出口端壁的距离不大于500mm,该缓冲腔与该抽气孔相通;所述闸门单元分别对应设置于该缓冲腔内与该衔接腔内,且分别用于启闭该入阀口与该间阀口;及该输送单元包括一支能枢转地设置于该缓冲腔内的输送滚轴。
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