[发明专利]外延片生产设备在审
| 申请号： | 201510162054.2 | 申请日： | 2015-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN104818527A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 张健 | 申请（专利权）人： | 上海晶盟硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种外延片生产设备，包括反应腔室以及加热装置，所述的反应腔室具有进气口和出气口，所述的反应腔室内设有托盘，所述的反应腔室内还安装有吸热装置，所述的吸热装置位于托盘与出气口之间，所述的加热装置用于加热反应腔室。本发明延长了反应腔室的使用寿命，节约了蚀刻原料，为生产节约了成本，同时还提升了外延片的优良率，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 生产 设备 | ||
【主权项】：
外延片生产设备，其特征在于，包括反应腔室以及加热装置，所述的反应腔室具有进气口和出气口，所述的反应腔室内设有托盘，所述的反应腔室内还安装有吸热装置，所述的吸热装置位于托盘与出气口之间，所述的加热装置用于加热反应腔室。
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