[发明专利]研磨盘和研磨机

摘要

本发明提供一种研磨盘和研磨机。谋求使研磨盘的磨头的磨损量均匀化，或者即使磨损量不同也谋求研磨均匀化。研磨盘由如下部分构成，即：盘，其为大致圆盘状，能够旋转；研磨体，其设于该盘的主面；支承体，其用于将该研磨体支承于主面。研磨体呈放射状配置，并且在与对象物相对的面具有磨头。在利用支承体的支承板夹持研磨体并使螺栓的轴部贯穿在靠内周的位置时，该研磨体能够以轴部为支点摆动。在使研磨盘旋转并朝向对象物按压该研磨盘时，由于作用于外周侧的磨头的压力较小，因此磨头大致均匀地磨损。即使磨损量稍微不同，通过研磨体的以轴部为支点的摆动，磨头整体也与对象物均匀地接触。

主权项

一种研磨盘，其包括：盘，其为大致圆盘状，能够旋转，并且被按向对象物；研磨体，在该盘的一侧的主面以与该盘的周向相交叉的方式设有多个该研磨体，该研磨体在与对象物接触的一侧具有磨头；支承部件，其用于将所述研磨体支承为所述磨头相对于所述主面摆动，该研磨盘的特征在于，所述支承部件在自所述研磨体的长度方向的中心向内周侧偏移的位置支承所述研磨体，以使作用于所述盘的外周侧的磨头的压力小于作用于所述盘的内周侧的磨头的压力，由此，在朝向对象物按压所述盘的同时使所述盘旋转时，将所述研磨体支承在所述磨头的磨损量均匀化的位置。