[发明专利]一种硅太阳能电池制结工艺

摘要

本发明提供一种硅太阳能电池制结工艺，包括进舟通氮，并升温至1050摄氏度；向扩散炉内通入携三氯氧磷气体和氧气，其中在上述1050摄氏度扩散5分钟后，5分钟内降温至720摄氏度并保持700摄氏度扩散5分钟，之后在5分钟内均匀升温至1050摄氏度并保持1050摄氏度扩散5分钟，之后在5分钟内均匀降温至800摄氏度完成扩散；接着进行推进工艺；最后出舟。本发明制备成本低，产品性能高。

主权项

一种硅太阳能电池制结工艺，包括步骤：提供硅片，将硅片置于石英舟内，将石英舟固定安置于扩散炉内，封闭扩散炉的炉门；向扩散炉内通入氮气，氮气流量为20ml/min，通入10min后开始升温，将炉内温度升温至1000‑1050摄氏度；当温度升至上述1000‑1050摄氏度时，向炉内通入携三氯氧磷气体和氧气，进行扩散工艺，其中携三氯氧磷气体的流量为15L/min，氧气流量为3L/min；在上述1000‑1050摄氏度扩散5分钟后，5分钟内降温至700‑720摄氏度并保持700‑720摄氏度扩散5分钟，之后在5分钟内均匀升温至1000‑1050摄氏度并保持1000‑1050摄氏度扩散5分钟，之后在5分钟内均匀降温至800摄氏度，当温度降至所述800摄氏度时关闭携三氯氧磷气体和氧气的气阀，停止通携磷源气体和氧气结束扩散，整个扩散时间为30分钟；在所述800摄氏度的环境中进行推进工艺；推进工艺结束后，降温出舟，完成制结工艺。