[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示面板和显示装置

摘要

本发明的实施例公开一种阵列基板及其制作方法、显示面板和显示装置，涉及显示技术领域，能够减少显示面板的制作工序。该阵列基板包括:衬底基板，位于所述衬底基板上的栅线和栅极；覆盖所述栅线和栅极的绝缘层；在绝缘层上对应所述栅极的位置的有源层；所述有源层上方的蚀阻挡层，其中所述刻蚀阻挡层为遮光材料，所述刻蚀阻挡层对应像素电极的位置镂空，所述刻蚀阻挡层包括位于所述有源层上方的第一过孔和第二过孔；所述刻蚀阻挡层上的数据线、源极和漏极，其中所述源极通过第一过孔与所述有源层连接，所述漏极通过所述第二过孔与所述有源层连接，所述源极还连接所述数据线，所述漏极连接像素电极层。

主权项

一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板上形成栅线和栅极；形成覆盖所述栅线和栅极的绝缘层；在绝缘层上对应所述栅极的位置形成有源层；通过一次构图工艺形成覆盖所述有源层的刻蚀阻挡层，所述刻蚀阻挡层为遮光材料，其中所述刻蚀阻挡层对应像素电极的位置镂空，所述刻蚀阻挡层包括位于所述有源层上方的第一过孔和第二过孔；在所述刻蚀阻挡层上形成导电材料层，并通过一次构图工艺在所述刻蚀阻挡层上形成数据线、源极和漏极，其中所述源极通过第一过孔与所述有源层连接，所述漏极通过所述第二过孔与所述有源层连接，所述源极还连接所述数据线，所述漏极连接像素电极。