[发明专利]图案形成方法、硬化物、触摸屏或显示屏的制造方法以及显示装置在审
| 申请号： | 201510170283.9 | 申请日： | 2015-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN104977813A | 公开（公告）日： | 2015-10-14 |
| 发明（设计）人： | 中村秀之;金子若彦;柏木大助;山下史絵 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种抑制缺损的产生、图案形状良好、且抑制底切的产生的图案形成方法、硬化物、触摸屏或显示屏的制造方法、及显示装置。本发明的图案形成方法包括：将感光性树脂组合物涂布在基板上的工序、从所涂布的感光性树脂组合物中除去溶剂的工序、使用掩模利用活性辐射线进行曝光的曝光工序、及利用水性显影液进行显影的显影工序，关于曝光工序中所用的掩模，沿着第一遮光部图案的外边而平行地设置第二遮光部图案，第二遮光部图案将第一遮光部图案包围一周，第一遮光部图案的外边与第二遮光部图案的内边的距离A、和第二遮光部图案的内边与外边的宽度B的关系满足0.5≤B/A≤0.75，且第二遮光部图案的内边与外边的宽度B为1μm～10μm。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 硬化 触摸屏 显示屏 制造 以及 显示装置 | ||
【主权项】：
一种图案形成方法，其特征在于包括：将感光性树脂组合物涂布在基板上的涂布工序、从所涂布的感光性树脂组合物中除去溶剂的溶剂除去工序、使用掩模利用活性辐射线进行曝光的曝光工序、及利用水性显影液进行显影的显影工序，并且所述曝光工序中所用的掩模，沿着第一遮光部图案的外边而平行地设置第二遮光部图案，所述第二遮光部图案将所述第一遮光部图案包围一周，所述第一遮光部图案的外边与所述第二遮光部图案的内边的距离A、与所述第二遮光部图案的内边与外边的宽度B的关系满足下述式I，且所述第二遮光部图案的内边与外边的宽度B为1μm～10μm，0.5≤B/A≤0.75 式I。
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