[发明专利]底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池

摘要

本发明提供了一种底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池,首先在金属电极表面采用磁控溅射沉积方式沉积周期性金属纳米颗粒，然后再沉积一层硅基薄膜，从而形成底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池。当太阳光入射至该结构并穿透硅基薄膜到达底部的金属纳米颗粒处，会激励出局域表面等离子体激元。局域表面等离子体激元的近场增强效应和光汇聚作用可以有效地增强硅基薄膜的光吸收能力，从而提高太阳能电池的光电转换效率。本发明所设计的太阳能电池结构具有结构紧凑、光电转换效率高的特点。

主权项

一种底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，包括：金属电极；硅基薄膜，形成在所述金属电极表面；周期性金属纳米颗粒，形成在所述金属电极和硅基薄膜的交界面。