[发明专利]带电粒子线装置

摘要

提供一种带电粒子线装置、带电粒子显微镜，即便是大型的试料也可以在大气环境或者气体环境下进行观察。在采用分隔真空环境与大气环境(或气体环境)的薄膜的构成的带电粒子线装置中，具备：收纳带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；将从该带电粒子光学镜筒射出的一次带电粒子线到达所述薄膜的路径维持为真空环境的箱体；相对于装置设置面支承上述带电粒子光学镜筒与第1箱体的机构，作为该支承机构，采用具有用于搬入大型试料的开放口的箱体、或者支柱等箱体以外的形状的机构。

主权项

一种带电粒子线装置，其包括将从带电粒子源放出的一次带电粒子线向试料上扫描的带电粒子光学系统；收纳该带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；检测由所述扫描得到的反射电子或者二次电子的检测器；至少一个以上的排气泵，其特征在于，该带电粒子线装置具备：使所述一次带电粒子线透射或者通过的薄膜以及保持该薄膜的薄膜支承部件；收纳所述试料，且利用设于侧面的开口部至少在所述试料的观察中处于内部向大气开放的状态的第2箱体；以及以支承所述带电粒子光学镜筒的方式与所述带电粒子光学镜筒相接合、且内部被真空排气的第1箱体；所述薄膜支承部件安装在所述第1箱体的与所述带电粒子光学镜筒的端部对置的位置，所述检测器对通过相对于收纳在所述第2箱体内的试料经由所述薄膜扫描所述一次带电粒子线而得到的二次电子或者反射电子中的、通过所述薄膜而到达该薄膜的上方的二次电子或者反射电子进行检测。