[发明专利]低频振动液膜电化学刻蚀大长径比纳米探针工艺

摘要

一种利用低频振动液膜电化学刻蚀大长径比纳米探针的工艺，将微米级钨棒安装在夹头中，用滴管将碱性电解液滴在金属圆环上形成液膜，并使微米级钨棒穿过金属圆环（液膜）的中心。直流电源的正负极分别与微米级钨棒和金属圆环连接，接通电源并使安装于压电运动平台上的金属圆环做低频往复振动，带动液膜做低频正弦往复运动（频率5~100Hz，幅值0.05~0.15mm）以制备大长径比纳米探针。

主权项

一种低频振动液膜电化学刻蚀大长径比纳米探针工艺，包括以下步骤，步骤1、将微米级钨棒（6）安装在夹头（3）中； 步骤２、用滴管将碱性电解液滴在金属圆环（5）上形成液膜（7）；其中液膜（7）的厚度通过控制所滴于金属圆环（5）电解液的体积进行调节；步骤3、使微米级钨棒（6）穿过金属圆环（5）的中心，并使探针接收容器（4）处于微米级钨棒（6）的正下方；其特征在于：步骤4、直流电源（9）的正负极分别与微米级钨棒（6）和金属圆环（5）连接，接通电源并使金属圆环（5）做低频往复振动，带动液膜（7）做低频上下往复振动，其中频率：5~100Hz，幅值：0.05~0.15mm。