[发明专利]微镜阵列可编程菲涅尔波带片

摘要

本发明涉及MOEMS光调制器技术领域，更具体的说，本发明涉及一种MOEMS微镜阵列可编程菲涅尔波带片:利用MOEMS微镜对光的振幅调制能力和阵列调制器对光场的二维空间调制能力，通过编程控制MEOMS微镜阵列中特定分组单元的开关,生成参数可调的反射式菲涅尔波带片，完成调焦功能，形成的微镜阵列可编程菲涅尔波带片作为变焦距光学系统使用具有结构简单、体积小、重复性好、精度高、工作频带宽、布线和驱动简单、光学效果好、光学误差小的优点，可广泛应用于显微镜、数码相机、望远镜等精密光学成像设备。

主权项

微镜阵列可编程菲涅尔波带片其特征在于：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的支撑柱、支撑层、上下电极、压电层、微镜镜面、电极地址控制驱动电路；所述微镜镜面通过中心的锚点支撑于上电极上方，上下电极与电极地址控制驱动电路相连以驱动电极中间夹住的压电层带动微镜镜面偏转，支撑柱和支撑层用来固定和支撑电极层并形成可变形的悬臂梁结构,所述电极地址控制驱动电路，按照事先计算好的电极地址选择施加电压的微镜单元构成不同参数的圆环菲涅尔波带片图形，每一个菲涅耳波带圆环由一定数量连续的微镜单元组成。