[发明专利]用AlN陶瓷基片作为基板制备线路板的方法有效
申请号: | 201510176538.2 | 申请日: | 2015-04-15 |
公开(公告)号: | CN104735914B | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 陈大有 | 申请(专利权)人: | 四川英创力电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00 |
代理公司: | 北京康盛知识产权代理有限公司11331 | 代理人: | 张良 |
地址: | 629000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种用AlN陶瓷基片作为基板制备线路板的方法,涉及线路板制造领域,包括以下步骤(1)AlN陶瓷基片钻孔;(2)将钻孔后的AlN陶瓷基片进行基片金属活性化;(3)化学沉积法键合活化后的AlN陶瓷基;将AlN陶瓷基片放入沉铜液中在AlN陶瓷基片上沉积1‑2um的金属Cu;(4)敷铜加厚;将沉积后的AlN陶瓷基片放入电镀液中进行电镀;(5)线路制作;将敷铜加厚后的AlN陶瓷基片先进行线路图形转移后进行线路图形解析。与现有的相比,本发明制备出的线路板导热性能、热稳定性、散热性能、高压电性能、绝缘性能好,载流量大,翘曲度、粗糙度小,集成化程度高。 | ||
搜索关键词: | aln 陶瓷 作为 制备 线路板 方法 | ||
【主权项】:
一种用AlN陶瓷基片作为基板制备线路板的方法,包括以下步骤:(1)AlN陶瓷基片钻孔;(2)将钻孔后的AlN陶瓷基片进行基片金属活性化;(3)化学沉积法键合金属活性化后的AlN陶瓷基片:将AlN陶瓷基片放入沉铜液中在AlN陶瓷基片上沉积1‑2um的金属Cu;(4)敷铜加厚:将沉积后的AlN陶瓷基片放入电镀液中进行电镀;(5)线路制作:将敷铜加厚后的AlN陶瓷基片先进行线路图形转移后进行线路图形解析;所述步骤(2)中,AlN陶瓷基片用物理方法和化学方法进行活化处理,所述物理方法为先用金刚砂喷砂磨板表观粗化,然后进行等离子体微粗化;所述化学方法为强碱液微观粗化;所述磨板表观粗化深度:等离子体微粗化深度:强碱液微观粗化深度为1‑10:3‑5:3‑5。
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