[发明专利]显示基板及其制造方法、显示装置

摘要

本发明实施例提供一种显示基板及其制造方法、显示装置，涉及显示技术领域。方法包括在基板上形成刻蚀阻挡层图形和第一电极图形的步骤，形成所述刻蚀阻挡层图形和第一电极图形的步骤包括依次形成刻蚀阻挡层薄膜和第一电极薄膜，通过一次构图工艺形成刻蚀阻挡层图形和第一电极图形。本发明省去了刻蚀阻挡层图形单独形成的构图工艺，简化了工艺流程，节省了制作成本。本发明实施例用于制造显示装置。

主权项

一种显示基板的制造方法，其特征在于，包括：步骤1、提供一基板，在所述基板上形成栅绝缘层和有源层的图形；步骤2、在完成步骤1的基板上依次形成刻蚀阻挡层薄膜和第一电极薄膜；步骤3、通过一次构图工艺形成刻蚀阻挡层图形和第一电极图形；步骤4、在形成有所述刻蚀阻挡层图形和第一电极图形的显示基板上形成数据线、薄膜晶体管的源极、所述薄膜晶体管的漏极以及所述薄膜晶体管的沟道区域，所述薄膜晶体管的源极、所述薄膜晶体管的漏极通过第一过孔与有源层电连接，所述薄膜晶体管的漏极搭接在第一电极上。