[发明专利]真空泵有效
| 申请号： | 201510181590.7 | 申请日： | 2015-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN105317706B | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 坪川彻也 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/58;F04D29/10 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人： | 寿宁,张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种真空泵包括圆筒状的转子圆筒部(13)；圆筒状的定子(22)，与转子圆筒部(13)协动而排出气体；基座(20)，收纳有定子(22)的至少一部分，且在定子(22)的外周对向的位置形成有贯通孔(207)；定子加热部(28)，将贯通孔(207)从大气侧向真空侧贯通而热接触于定子(22)的外周面，且对所述定子(22)进行加热；以及轴密封件(284)，将贯通孔(207)与定子加热部(28)真空密封。因此，即便定子(22)因热膨胀而向径向变形，加热器部件(281)也可随着所述变形而沿泵径向自由移动。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
一种真空泵，其特征在于包括：圆筒状的转子；圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；基座，收纳有所述定子的至少一部分，且在所述定子的外周对向的位置形成有贯通孔；加热部，将所述贯通孔从大气侧向真空侧贯通而热接触于所述定子的外周面，且对所述定子进行加热，其中在所述贯通孔与所述加热部之间形成有间隙，且所述加热部未固定于所述基座；以及轴密封材料，将所述贯通孔与所述加热部的间隙真空密封。
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