[发明专利]一种快速检测SiO2膜厚及膜层致密性的方法

摘要

本发明提供一种快速检测SiO₂膜厚及膜层致密性的方法，涉及玻璃检测技术领域，测试方法步骤如下：1)配制比例为HF：HNO₃：DI水＝2.4％：1.6％：96％，将配置好的酸液存放于塑料杯中；2)将待检测的样片切割成小片，并在其表面平行粘贴两条胶带，制作成台阶，两胶带间距为1mm，胶带沿同一方向压实，要保持台阶边缘平整；3)开启水浴锅加热，将温度设定为30℃，并将盛有酸液的塑料杯放入加热；通过温度计确认酸液的温度达30±2℃；4)将制作好的台阶置于指定温度的酸液中浸泡，检测蚀刻速率时浸泡时间规定为50s、70s、90s、110s。本发明在线生产中可以直接使用生产过程中表观不良玻璃进行测试，无需再次使用油性笔划线制作台阶完成样品，大大提高测试效率，提升产能。

主权项

一种快速检测SiO₂膜厚及膜层致密性的方法，其特征在于，测试方法步骤如下：1)酸液准备选取分析纯，配制比例为HF：HNO₃：DI水＝2.4％：1.6％：96％，将配置好的酸液存放于塑料杯中；2)台阶制作将待检测的样片切割成小片，并在其表面平行粘贴两条胶带，制作成台阶，两胶带间距为1mm，胶带沿同一方向压实，要保持台阶边缘平整；3)酸液加热开启水浴锅加热，将温度设定为30℃，并将盛有酸液的塑料杯放入加热；通过温度计确认酸液的温度达30±2℃，方可开始实验；温度确认时眼睛视线应垂直于温度计刻度线；4)SiO₂膜层致密性评价玻璃SiO₂膜层在酸液中反应速率明显慢于玻璃的反应速率，玻璃蚀刻速率为SiO₂膜蚀刻速率为将制作好的台阶置于指定温度的酸液中浸泡，检测蚀刻速率时浸泡时间规定为50s、70s、90s、110s，推断SiO2膜厚时实验时间根据实验情况决定，起始时间定为50s，90s内深度≤为合格。