[发明专利]非接触式搬送手

摘要

本发明提供了一种非接触式搬送手(1)，包括吸着保持板(2)和盖部(8)。吸着保持板(2)具有作为正面的平坦状吸着面(2a)、作为背面的非吸着面(2b)、以及室(3)。吸着面具有气体排出槽(10)。非吸着面具有气体供给槽(6)，气体供给槽(6)具有气体引入端口(6d)。室(3)与气体供给槽的端部连通。室的壁面(3a)具有入口(10a)。气体供给槽构造成将气体从气体引入端口朝向室供给。气体排出槽经由入口与室连通并且构造成沿离开室的方向排出气体。盖部固定在非吸着面上以覆盖气体供给槽和室。

主权项

一种非接触式搬送手(1)，其特征在于包括：吸着保持板(2)，所述吸着保持板(2)具有作为正面的平坦状的吸着面(2a)、作为背面的非吸着面(2b)以及室(3)；以及盖部(8)，其中所述吸着面具有气体排出槽(10)，所述非吸着面具有气体供给槽(6)，所述气体供给槽(6)具有气体引入端口(6d)，所述室(3)与所述气体供给槽的端部连通，所述气体供给槽构造成从所述气体引入端口朝向所述室供给气体，所述室的壁面(3a)具有入口(10a)，所述气体排出槽经由所述入口与所述室连通，并且所述气体排出槽构造成沿离开所述室的方向排出所述气体，所述盖部固定在所述非吸着面上以覆盖所述气体供给槽和所述室，所述气体排出槽由多个气体排出槽构成，所述气体供给槽具有线性形状，所述室设置在所述吸着面的中央处，以及所述气体排出槽从所述室放射状地且线性地延伸。