[发明专利]一种柔性OLED脱膜装置

摘要

本发明公开了一种柔性OLED脱膜装置，包括主机台，主机台的上平面设有可移动的基板吸附基台；所述基板吸附基台用于吸附OLED基板；所述主机台包括OLED基板放置区域和OLED基板激光照射区域；所述OLED基板放置区域的上部设有悬挂机台；所述激光照射区域的上部设有激光发生器，激光发生器通过其设有的线阵激光源对激光照射区域内的OLED基板进行激光照射；所述悬挂机台的下表面设有真空吸盘，所述真空吸盘与悬挂机台之间通过气缸连接。由于OLED基板放置区域的上部设有悬挂机台，使OLED基板12的刚性衬底和柔性OLED膜发生剥离，得到柔性OLED基板，该装置具有准确、快速的把刚性衬底与柔性衬底分离的效果。

主权项

一种柔性OLED脱膜装置，其特征在于：包括主机台(1)，主机台(1)的上平面设有可移动的基板吸附基台(2)；所述基板吸附基台(2)用于吸附OLED基板(12)；所述主机台(1)包括OLED基板放置区域和OLED基板激光照射区域；所述OLED基板放置区域的上部设有悬挂机台(7)；所述激光照射区域的上部设有激光发生器(5)，激光发生器(5)通过其设有的线阵激光源(6)对激光照射区域内的OLED基板(12)进行激光照射；所述悬挂机台(7)的下表面设有吸附盘，所述吸附盘与悬挂机台(7)之间通过气缸(8)连接；还包括自动机械手(3)、基板卡匣(4)和传输带(10)，所述自动机械手(3)设置在主机台(1)的前端，所述传输带(10)与主机台(1)水平平行；基板卡匣(4)设置在自动机械手(3)的一旁。