[发明专利]干涉测量中的扫描同步方法

摘要

公开了一种干涉测量中的扫描同步方法，所述方法包括产生振荡信号；使物体振荡；产生图像触发信号；施加图像触发信号；以及移动测量头。产生振荡信号包括产生具有用于使物体振荡的预定周期的第一振荡信号，并产生具有与第一振荡信号同步的脉冲波形的第二振荡信号。使物体振荡包括通过第一振荡信号使物体振荡。产生图像触发信号包括通过在第二振荡信号的周期的每整数倍时对第二振荡信号进行采样来产生图像触发信号。施加图像触发信号包括向图像获取器施加图像触发信号，以便获取物体图像。移动测量头包括在图像获取器获取物体的图像后，通过测量头驱动器将测量头移动预定的距离。因此，当物体振荡时在相同的相位处获取所述物体的图像。

主权项

一种干涉测量中的扫描同步方法，其用于干涉仪，所述干涉仪包括：光源；测量头，其将从所述光源发出的光引导至物体和参考镜，以便可以通过从所述物体反射的光和来自于所述参考镜的参考光来形成干涉条纹；测量头驱动器，其驱动所述测量头，以靠近或远离所述物体；图像获取器，其获取所述测量头形成的所述干涉条纹的图像；以及振荡发生器，其使所述物体振荡，所述方法包括：产生具有用于使所述物体振荡的预定周期的第一振荡信号，并且产生具有与所述第一振荡信号同步的脉冲波形的第二振荡信号；通过所述第一振荡信号使所述物体振荡；在产生图像触发信号之前产生切换触发信号，所述切换触发信号具有的上升时间早于所述第二振荡信号的上升时间；通过在所述第二振荡信号的周期的每整数倍时对所述第二振荡信号进行采样来产生所述图像触发信号；向所述图像获取器施加所述图像触发信号，以便获取所述物体的图像；以及在所述图像获取器获取所述物体的图像之后，通过所述测量头驱动器将所述测量头移动预定的距离，其中，当所述物体振荡时，在相同的相位处获取所述物体的图像；以及当通过所述切换触发信号对所述第二振荡信号进行采样时，产生所述图像触发信号。