[发明专利]蒸发单元在审

专利信息
申请号: 201510195738.2 申请日: 2015-04-23
公开(公告)号: CN105002463A 公开(公告)日: 2015-10-28
发明(设计)人: D·埃斯特韦;F·施特梅伦 申请(专利权)人: 瑞必尔
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 慈戬;吴鹏
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 发明涉及一种蒸发单元,其用于将材料蒸发到设置在真空沉积室中的基材上并且包括:内封壳,内封壳界定接纳容纳材料的坩埚的蒸发室并具有用于将坩埚插入蒸发室中的开口;蒸发装置,蒸发装置设置于内封壳的外周以将坩埚置于蒸发状态;喷射管道,喷射管道用以将蒸发后的材料的蒸气流从蒸发室输送到位于真空沉积室中的喷射器;和设置在喷射管道上的断流阀。根据本发明,该蒸发单元包括插入开口的关闭装置和开启装置,关闭装置具有用于将坩埚插入蒸发室中的开启构型和蒸发室被围合并经由喷射管道与真空沉积室连通的封闭构型,开启装置用于在坩埚的包壳中提供蒸发开口,坩埚充填有待蒸发的材料并维持在真空下以使得坩埚于是与蒸发室连通。
搜索关键词: 蒸发 单元
【主权项】:
一种蒸发单元(10),其用于使材料(7)蒸发以使所述材料沉积在置于真空沉积室(20)中的基材(2)上,所述蒸发单元包括:‑界定蒸发室(100)的内封壳,所述蒸发室适合接纳容纳待蒸发的材料(7)的坩埚(110),该内封壳(100)具有用于将所述坩埚(110)插入所述蒸发室(100)中的插入开口(12),‑蒸发装置(101,131,132),所述蒸发装置设置于所述内封壳(100)的外周并且适合当所述坩埚(110)被接纳在所述蒸发室(100)中时将所述坩埚(110)置于蒸发状态下以用于容纳在所述坩埚(110)中的材料(7)的蒸发,‑喷射管道(14),所述喷射管道适合将已蒸发的材料(7)的蒸气流(3)从所述蒸发室(100)输送至位于所述真空沉积室(20)中的喷射器(13),和‑设置在所述喷射管道(14)上的断流阀(17),其特征在于,所述蒸发单元包括:‑用于关闭所述蒸发单元(10)的内封壳(100)的所述插入开口(12)的关闭装置(105,105A),这种关闭装置(105,105A)具有:‑允许所述坩埚(110)插入所述蒸发室(100)中的开启构型,和‑封闭构型,在所述封闭构型下所述蒸发室(100)被围合并且在所述断流阀(17)打开时经由所述喷射管道(14)与所述真空沉积室(20)连通,和‑开启装置(18),所述开启装置适合在坩埚(110)的包壳(111,112,115,116)中提供蒸发开口,所述坩埚(110)充填有待蒸发的材料(7)并且在开启之前维持在真空下,所述蒸发开口允许将所述坩埚(110)置于与所述蒸发室(100)连通。
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