[发明专利]高温压力传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201510197049.5 | 申请日： | 2015-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN105043643B | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李策 | 申请（专利权）人： | 昆山泰莱宏成传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/02 | 分类号： | G01L9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明为一种高温压力传感器，其包括主芯片，所述主芯片具有位于第一层的衬底、位于第二层的弹性膜、位于第三层的一对金属电极及连接该对金属电极的敏感电阻层，所述高温压力传感器还具有与所述主芯片贴合的盖板，所述盖板具有开口朝向所述主芯片方向的收容腔，所述金属电极与敏感电阻层密封于所述收容腔与所述弹性膜围设的密封腔内，所述高温压力传感器还包括分别与所述金属电极连接的一对导引线并延伸出所述密封腔。所述金属电极与敏感电阻层由于金属电极与弹性膜被密封在真空腔，或者接近真空腔内，令金属电极与敏感电阻层不容易氧化而提高整个传感器更能在高温下工作，可以使传感器在600℃的使用温度条件下的寿命达到1000小时。 | ||
| 搜索关键词： | 金属电极 高温压力传感器 敏感电阻 主芯片 弹性膜 密封腔 收容腔 真空腔 盖板 传感器 密封 使用温度条件 导引线 第三层 第一层 衬底 贴合 围设 开口 延伸 制作 | ||
【主权项】：
一种高温压力传感器，其包括主芯片，所述主芯片具有位于第一层的衬底、位于第二层的弹性膜、位于第三层的一对金属电极及连接该对金属电极的敏感电阻层，其特征在于：所述高温压力传感器还具有与所述主芯片贴合的的盖板，所述盖板具有开口朝向所述主芯片方向的收容腔，所述金属电极与敏感电阻层密封于所述收容腔与所述弹性膜围设的密封腔内，所述高温压力传感器还包括分别与所述金属电极连接的一对导引线并延伸出所述密封腔，所述高温压力传感器还包括与所述盖板相结合的基座，所述基座与所述盖板之间形成一层连接层，所述连接层的热膨胀系数在所述基座与所述盖板热膨胀系数的之间。
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