[发明专利]多功能电镀测试架

摘要

本发明为一种多功能电镀测试架，能同时测试电铸液的分散能力、覆盖能力和整平能力。本发明包括两根支架主梁，两个支架主梁上固定有三组阳极插槽，三组阳极插槽的两侧各固定有一根支架侧梁，两根支架主梁上位于各组阳极插槽之间的位置开设有若干硅片插槽。本发明是综合考量微电铸所需的工艺参数和环境参数，采用国外进口材料GE214制作而成的电镀测试架，为大规模生产电铸液前，测量电铸液的性能参数，定性表征电镀液性能优劣提供了一个方便，提供了一个易操作的检测平台。通过本发明电镀测试架，可用远近阴极法测试电镀液分散能力、运用水浴斜曝光制作V槽测试整平能力、用半内环覆盖法测试覆盖能力。

主权项

一种多功能电镀测试架，其特征在于：包括两根平行设置的支架主梁（1），两根支架主梁（1）上固定有三组阳极插槽（2），其中的两组阳极插槽（2）分别位于两根支架主梁（1）的左右两端；每组阳极插槽（2）由两个相邻设置的倒等腰梯形框架（2‑1）组成，倒等腰梯形框架（2‑1）的上底框共同固定在两根支架主梁（1）上；三组阳极插槽（2）的整体两侧分别固定有一根支架侧梁（3），支架侧梁（3）固定在倒等腰梯形框架（2‑1）的腰框上；两根支架主梁（1）上位于每组阳极插槽（2）的两个倒等腰梯形框架（2‑1）之间的位置开设有一对阳极卡槽（2‑2）；两根支架主梁（1）上位于左端阳极插槽（2）与中间阳极插槽（2）之间的位置开设有若干对硅片插槽（1‑1），两根支架主梁（1）上位于右端阳极插槽（2）与中间阳极插槽（2）之间的位置开设有若干对硅片插槽（1‑1），并且位于中间阳极插槽（2）右侧的硅片插槽（1‑1）对数多于位于中间阳极插槽（2）左侧的硅片插槽（1‑1）对数的二倍。