[发明专利]一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法

摘要

本发明公开了一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法，其特征在于在基于光腔衰荡法测量大口径光学元件高反射率时，分析大口径光学元件反射率均匀性测试过程中待测光学元件不同位置反射率值与相应衰荡信号幅值间的关系，通过二次多项式拟合等处理方法，利用拟合参数及衰荡信号幅值计算得到待测光学元件反射率，通过与光腔衰荡方法得到反射率结果对比，印证了该方法的有效性。同时，利用拟合参数还可计算得到激光在衰荡腔内往返一次后两透射波相位延迟δ的余弦值cosδ，该值表征了所建立的光腔衰荡高反射率测试系统光路调节状况，cosδ越接近于1说明光腔调节越好。

主权项

一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法，其特征在于：基于光腔衰荡法测量高反射光学元件的反射率，记录多次反射率值Rx及相应的衰荡信号幅值A，令y＝1/A、x＝Rx，利用二次多项式y＝a0+a1x+a2x2对所记录数据拟合得到各拟合系数a0、a1和a2；据待测腔透射光强函数有其中It(λ)为透射光强，Iin(λ)为入射光强，为初始腔平均反射率，R1、R2分别为耦合腔镜和出射腔镜反射率，δ为激光在衰荡腔内往返反射一次后两透射波相位延迟，则据可由测得幅值计算相应待测光学元件反射率，分析R'x与通过衰荡时间确定待测光学元件反射率Rx的差值，可验证该方法的有效性；同时，激光在本衰荡腔内往返一次后两透射波相位延迟δ余弦值可由计算得到，该余弦值反映了所建立的光腔衰荡高反射率测试系统的光路调节状况，光路调节时应使cosδ尽量接近于1。