[发明专利]翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备有效
| 申请号： | 201510203240.6 | 申请日： | 2015-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN104911560B | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 杨斌 | 申请（专利权）人： | 北京精诚铂阳光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备。该翻转装置，用于翻转工件，工件包括承载基板和玻璃基板，承载基板包括多个基板定位柱，且玻璃基板通过基板定位柱固定在承载基板上，其特征在于，翻转装置包括：翻转台和设置于翻转台上方的翻转机构，且翻转机构包括由多个吸盘组成的吸盘组；顶起装置，包括设置于翻转台上的支撑架和位于支撑架上的顶针组，顶针组包括多个顶针，且顶针组中顶针的位置与吸盘组中吸盘的位置一一对应；检测装置，设置于翻转台上，且检测装置用于测量玻璃基板的各位置与翻转台之间的距离。采用翻转装置能够降低玻璃基板在翻转时的破碎率。 | ||
| 搜索关键词： | 翻转 装置 操作方法 包括 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
1.一种翻转装置，用于翻转工件，所述工件包括承载基板和玻璃基板，所述承载基板包括多个基板定位柱，且所述玻璃基板通过所述基板定位柱固定在所述承载基板上，其特征在于，所述翻转装置包括：翻转台和设置于所述翻转台上方的翻转机构，且所述翻转机构包括由多个吸盘组成的吸盘组；顶起装置，包括设置于所述翻转台上的支撑架和位于所述支撑架上的顶针组，所述顶针组包括多个顶针，且所述顶针组中所述顶针的位置与所述吸盘组中所述吸盘的位置一一对应；检测装置，设置于所述翻转台上，且所述检测装置用于测量所述玻璃基板的各位置与所述翻转台之间的距离。
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