[发明专利]一种基于柔性衬底材料氧化锌薄膜晶体管的制备方法

摘要

本发明涉及一种基于柔性衬底材料氧化锌薄膜晶体管的制备方法，属于微电子技术领域。包括硬质衬底和柔性衬底的清洗、吹干、烘干，衬底粘合，栅极材料沉积，绝缘层材料沉积，氧化锌沟道层材料沉积，源漏电极沉积。优点是，在室温状态下即可制备、且工艺简便易行、成本低，可应用于柔性显示技术领域。

主权项

一种基于柔性衬底材料氧化锌薄膜晶体管的制备方法，其特征在于包括下列步骤：（一）硬质衬底和柔性衬底的清洗、吹干、烘干；所述硬质衬底材料为玻璃、硅片、或不锈钢片，所述柔性衬底材料为聚酰亚胺（PI）；（二）衬底粘合，所述衬底粘合材料为光刻胶；所述衬底粘合包括：将硬质衬底固定在匀胶仪上，在硬质衬底中间位置滴光刻胶一，0.2ml—0.5ml，将清洗好的柔性材料衬底聚酰亚胺，置于光刻胶一上面，待硬质衬底与柔性衬底通过光刻胶一全部接触后，启动匀胶仪，转速450—550转/分钟，时间30秒—120秒，使光刻胶一均匀铺在柔性衬底与硬质衬底之间，从而使柔性衬底与硬质衬底紧紧粘合在一起，柔性衬底被平整固定在硬质衬底表面，形成样品一；（三）栅极材料沉积，所述栅极材料为铝，采用电子束蒸发方法制备；所述栅极材料沉积包括：将样品一放入电子束蒸发装置生长室中，放置方向为柔性衬底朝下，用电子束蒸发方法镀铝在柔性衬底上作为栅极（4），完成后，依次将其放入丙酮溶液、乙醇、去离子水中超声清洗3－5分钟，用去离子水冲洗，N2吹干，在此过程中，光刻胶一溶于丙酮溶液，从而，硬质衬底与其他部分分离开来，形成样品二；（四）绝缘层材料沉积，所述绝缘层材料为二氧化硅，采用离子体增强化学气相沉积 方法生长；所述绝缘层材料沉积包括：取4英寸洁净硅片，将样品二放置在硅片上面中间位置，样品二吸附于硅片表面，将带有样品二的硅片置于PECVD生长室底座，为避免绝缘层沉积过程中样品二受热发生卷曲、翘角现象，影响绝缘层生长，取清洗干净的不锈钢片制成的模具一，模具一为方框形，内径15mm，框宽5mm，将模具一压在样品二上面，沉积二氧化硅绝缘层，形成了二氧化硅层后的产品是样品三；（五）氧化锌沟道层材料沉积，所述沟道层材料为氧化锌，方法采用射频磁控溅射；（六）源漏电极沉积，所述源漏电极材料为铝，利用光刻剥离技术，沉积方法采用真空蒸镀、电子束蒸发。