[发明专利]用于减少有害物质的等离子体反应器有效
| 申请号： | 201510205427.X | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN105013419B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 许民;姜宇石;李载玉 | 申请（专利权）人： | 韩国机械研究院 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;B01D53/32 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人： | 李慧慧,郑霞 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于减少有害物质的等离子体反应器。提供了一种通过在真空泵的前端部分分解各种有害物质来减少有害物质的等离子体反应器。用于减少有害物质的等离子体反应器包括接地电极部件、绝缘体和驱动电极。接地电极部件包括位于真空泵的前端部分且具有管状形状的第一接地电极和连接到第一接地电极的侧面的第二接地电极，第一接地电极包括面向真空泵的第一端部部件和在其相对侧的第二端部部件，第二接地电极具有管状形状且转移处理气体。绝缘体被连接地安装到第二端部部件。驱动电极被固定到绝缘体的外表面，在被连接到电源时施加驱动电压，且由于与接地电极部件的电压差在第一接地电极的内部产生了低压等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 减少 有害物质 等离子体 反应器 | ||
【主权项】：
一种用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，所述等离子体反应器被连接地安装在所述处理气体朝向真空泵的排气路径上，包括：第一接地电极，其位于所述真空泵的前端部分，且具有管状形状，并包括面向所述真空泵的第一端部部件和在其相对侧的第二端部部件；第二接地电极，其连接到所述第一接地电极的侧面，且具有管状形状，并转移所述处理气体；绝缘体，其连接地安装在所述第二端部部件处；以及驱动电极，其固定到所述绝缘体的外表面上，在连接到电源时，AC或RF电压被施加到所述驱动电极。
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