[发明专利]一种用于光配向的光罩装置及应用设备

摘要

本发明公开一种用于光配向的光罩装置及应用设备，包括彼此部分重叠的第一光罩和第二光罩，以使得该第一光罩和第二光罩分别包括第一重叠区、第一非重叠区和第二重叠区、第二非重叠区，同时该第一重叠区、第一非重叠区、第二重叠区和第二非重叠区分别包括多个开口部；该第一重叠区开口部的高度和该第二重叠区开口部的高度分别按照三角函数平方平滑变化，且使得重叠区在相同位置处叠加后的开口部高度与第一或第二非重叠区开口部的高度相同。与现有技术相比，本发明能够消除后续工艺中带状mura缺陷，提高产品的显示质量。

主权项

1.一种用于光配向的光罩装置，其特征在于，包括：第一光罩和第二光罩；所述第一光罩包括第一重叠区和第一非重叠区；所述第二光罩包括第二重叠区和第二非重叠区；所述第一重叠区和所述第二重叠区彼此重叠；所述第一重叠区包括沿第一方向排列的多个透射的开口部；所述第一非重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部；所述第二重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部；所述第二非重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部；所述第一非重叠区的开口部和所述第二非重叠区域的开口部相同；其中，所述第一非重叠区的开口部和所述第二非重叠区的开口部是第一长方形；所述第一长方形的宽度方向与所述第一方向相同；所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部是多个第三长方形，且所述第三长方形在所述第一方向上的尺寸与所述第一长方形的宽度相同或不同，所述第一重叠区与所述第一非重叠区具有相同的底边水平位置和顶边水平位置，所述第二重叠区与所述第二非重叠区具有相同的顶边水平位置和底边水平位置，所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部是通过马赛克算法得到；所述第一重叠区的开口部的高度Y1满足Y1＝Hsin2(πX/2L)；所述第二重叠区的开口部的高度Y2满足Y2＝Hcos2(πX/2L)；其中H是所述第一非重叠区域的开口部和所述第二非重叠区域的开口部的高度，X＝L‑M，L是所述第一重叠区和所述第二重叠区的长度，M是所述第一重叠区和所述第二重叠区距离所述第一非重叠区或所述第二非重叠区的距离。