[发明专利]一种可观察半导体薄膜设备传片腔室结构在审
| 申请号： | 201510212088.8 | 申请日： | 2015-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN104952777A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 方仕彩;吴凤丽;姜崴;廉杰 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 甄玉荃;霍光旭 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种可观察半导体薄膜设备传片腔室结构，包括升降机构连接板、传片腔室盖板及密封圈。所述传片腔室盖板上设有多个圆形透明单元；所述圆形透明单元通过密封圈及螺钉A与传片腔室盖板密封连接，整个结构呈一体；所述升降机构连接板通过螺钉B与传片腔室盖板固定连接；所述的圆形透明单元所在观察位置结构对称位。本发明构思合理，四处观察位置结构对称，机械手在X或Y任意方向传取片时，都可观察到晶圆的有无及状态。由于采用了多处小透明盖板的分布替代了比较厚的大透明盖板，大大的降低了设备的总成本并提高了设备的整体美观性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 观察 半导体 薄膜 设备 传片腔室 结构 | ||
【主权项】：
一种可观察半导体薄膜设备传片腔室结构，其特征在于：它包括升降机构连接板、传片腔室盖板及密封圈，所述传片腔室盖板上设有多个圆形透明单元；所述圆形透明单元通过密封圈及螺钉A与传片腔室盖板密封连接，整个结构呈一体。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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