[发明专利]膜层结构及测试方法、显示基板及测试方法和制备方法在审
申请号: | 201510214085.8 | 申请日: | 2015-04-29 |
公开(公告)号: | CN104808072A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 张玉军;刘超 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G01R27/26 | 分类号: | G01R27/26 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种膜层结构及测试方法、显示基板及测试方法和制备方法,该膜层结构包括:第一金属层、第二金属层、第一测试端子、第二测试端子,以及位于第一金属层和第二金属层之间的绝缘层;其中,第一测试端子与第一金属层相连,第二测试端子与第二金属层相连;第一金属层、绝缘层和第二金属层三层之间在至少一侧形成阶梯结构,这样对上述膜层结构进行测试时,通过测试探针上升或下降的移动轨迹测试阶梯结构的落差,进而获得较精确的绝缘层的厚度,再根据第一金层与第二金属层之间的电容值和相对面积,可以计算获得较精确的绝缘层的介电常数。 | ||
搜索关键词: | 结构 测试 方法 显示 制备 | ||
【主权项】:
一种膜层结构,其特征在于,包括:第一金属层、第二金属层、第一测试端子、第二测试端子,以及位于所述第一金属层和所述第二金属层之间的绝缘层;其中,所述第一测试端子与所述第一金属层相连,所述第二测试端子与所述第二金属层相连;所述第一金属层、所述绝缘层和所述第二金属层三层之间在至少一侧形成阶梯结构。
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