[发明专利]裸片拾取单元、包括其的裸片接合设备及裸片接合方法

摘要

本发明涉及裸片拾取单元，其包括支撑板、推顶部件、至少一个倒置拾取部件、检视部件和检视驱动部件。所述支撑板支撑包含多个裸片的晶片。所述推顶部件布置在所述支撑板的下方，并且推顶所述裸片中的每一个。所述倒置拾取部件布置在所述支撑板的上方，拾取所述推顶的裸片，并且具有用于倒置所述拾取的裸片的旋转部件。所述检视部件布置在所述支撑板的上方，并且检测欲由所述倒置拾取部件拾取的所述裸片的位置。所述检视驱动部件连接到所述检视部件，并且移动所述检视部件，以在所述倒置拾取部件拾取所述推顶的裸片时检测随后欲拾取的另一个裸片的位置。

主权项

一种裸片拾取单元，其包括：支撑包含多个裸片的晶片的支撑板；布置在所述支撑板的上方以检测所述裸片的位置的检视部件；布置在所述支撑板的下方以推顶经所述检视部件检测的裸片的推顶部件；第一倒置拾取部件和第二倒置拾取部件，其在一水平轴(x)方向上同轴地布置在所述支撑板的上方以拾取由所述推顶部件推顶的裸片并且包括用于倒置被拾取的裸片的旋转部件，且所述第一倒置拾取部件和第二倒置拾取部件与所述检视部件在所述水平轴(x)方向上同轴地布置，在所述水平轴(x)方向上分别移动所述第一倒置拾取部件和第二倒置拾取部件以交替和顺序地拾取所述裸片的第一和第二拾取驱动部件；以及检视驱动部件，其连接到所述检视部件并且配置为移动所述检视部件，以在所述第一倒置拾取部件或第二倒置拾取部件拾取所述推顶的裸片时检测随后欲拾取的另一个裸片的位置。