[发明专利]GaAs衬底ZnO微米棒端面出光的发光器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201510217380.9 | 申请日： | 2015-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN104953469B | 公开（公告）日： | 2018-02-09 |
| 发明（设计）人： | 杜国同;史志锋;董鑫;张源涛;张宝林 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | H01S5/343 | 分类号： | H01S5/343;H01S5/10 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司22201 | 代理人： | 王淑秋,王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种GaAs衬底ZnO微米棒端面出光的发光管或激光器及其制备方法，属于半导体发光器件及其制备方法技术领域。由下电极、衬底、ZnO微米棒、空穴注入层和上电极构成，ZnO微米棒沿着衬底的<011>方向放置，并和衬底之间用焊料烧结在一起，ZnO微米棒周围用有机填充物填平，空穴注入层采用Li掺杂的p‑NiO薄膜材料，沿垂直于衬底的<011>方向解理衬底和ZnO微米棒，解理形成的前、后端面构成激光器的前反射镜和后反射镜。本发明制备了GaAs或InP衬底ZnO微米棒端面出光的发光器件的增益区较长，可以提高器件的输出功率，其激光器件的谐振腔是法布里‑珀罗谐振腔，激光的方向性变好，进一步拓展了器件的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | gaas 衬底 zno 微米 端面 发光 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种GaAs衬底ZnO微米棒端面出光的发光器件，其特征在于：依次由下电极(1)、衬底(2)、ZnO微米棒(4)、空穴注入层(6)和上电极(7)构成，衬底(2)是n型导电的GaAs晶体片，ZnO微米棒(4)沿着衬底(2)的<011>方向放置，并和衬底(2)之间用In焊料(3)烧结在一起，ZnO微米棒(4)周围用聚甲基丙烯酸甲酯或聚酰亚胺有机填充物(5)填平，有机填充物(5)的高度与ZnO微米棒(4)的直径相同；空穴注入层(6)为Li掺杂的p‑NiO薄膜材料；沿垂直于衬底(2)的<011>方向，衬底(2)和ZnO微米棒(4)被解理成巴条，巴条再被锯切成含有一个ZnO微米棒(4)的管芯，从而形成一种GaAs衬底ZnO微米棒端面出光的发光器件。
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