[发明专利]用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具

摘要

一种用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具，包括底座、滑钉、紧固塞、组合滑钉和球底托片，提篮把手采用两竖杆一横梁结构，横梁中部设有圆弧细腰，底座上设有两条垂直分布的直线T型槽和一圈圆形T型槽，夹紧时先将半通直线T型槽内滑钉推至圆弧端面处，然后滑动全通直线T型槽内滑钉使其与刻蚀球两底孔距离一致，再将两滑钉压入刻蚀球底孔，最后将紧固塞推入全通直线T型槽顶紧滑钉直至不再移动，以此水平方向定位夹紧；组合滑钉在圆形T型槽内滑动待与刻蚀球侧孔位置一致后，将夹紧销钉插入刻蚀球侧孔，以此竖直方向夹紧球体；球底托片用于保护刻蚀球底面，装夹前用W型阿皮松蜡涂匀粘附于球底面。

主权项

一种用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具，其特征在于，该夹具包括底座(1)、滑钉底座(4)、第一定位夹紧滑钉(8)、第二定位夹紧滑钉(10)和紧固塞(3)，所述底座(1)上设置有圆形T型槽(15)、切割所述圆形T型槽(15)的全通直线T型槽(13)和半通直线T型槽(14)，所述全通直线T型槽(13)贯穿底座(1)两端面，所述半通直线T型槽(14)贯穿底座(1)一侧端面，并垂直于全通直线T型槽(13)但不与之相交，所述滑钉底座(4)嵌入圆形T型槽(15)并能在其中滑动，滑钉底座(4)上设置有水平的销钉孔(16)和装配在所述销钉孔(16)中的夹紧销钉(2)，所述第一定位夹紧滑钉(8)嵌入半通直线T型槽(14)并能在其中滑动，所述第二定位夹紧滑钉(10)嵌入全通直线T型槽(13)并能在其中滑动，所述紧固塞(3)从全通直线T型槽(13)任意一侧塞入，推动第二定位夹紧滑钉(10)并将其卡紧。