[发明专利]一种溶胶凝胶和化学溶液法制备(111)取向铁酸铋薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种溶胶凝胶和化学溶液法制备(111)取向铁酸铋薄膜的方法，包括以下步骤S1、制备前驱液，S2、制备铁酸铋前驱胶体，S3、制备铁酸铋前驱薄膜，S4、制备(111)取向铁酸铋薄膜。本发明制备的(111)择优取向铁酸铋薄膜具有较大的室温电极化强度，较低的室温漏电流密度，无孔洞，结构致密、均匀，厚度均一；本发明制备工艺简单，原料化学计量比可精确控制，设备少、成本低，可实现工业化生产，满足商业化应用。

主权项

一种溶胶凝胶和化学溶液法制备(111)取向铁酸铋薄膜的方法，其特征在于,包括以下步骤：S1、制备前驱液：将醋酸铋、醋酸亚铁按摩尔比为1.02‑1.06：1称重，加入丙酸中，在60‑80℃条件下搅拌至溶解得到前驱液，其中醋酸亚铁和丙酸的摩尔体积比mol/L为0.05‑0.3：1；S2、制备铁酸铋前驱胶体：向S1得到的前驱液中加入乙醇胺，在室温下搅拌4‑8h得到铁酸铋前驱胶体，其中乙醇胺和丙酸的体积比为1：30‑150；S3、制备铁酸铋前驱薄膜：将S2中得到的铁酸铋前驱胶体涂覆到Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上，基片以3500‑6000r/min旋涂30‑60s后，置于空气中，升温至300‑355℃，保温5‑20min得到铁酸铋前驱薄膜；S4、制备(111)取向铁酸铋薄膜：将S3中得到的铁酸铋前驱薄膜置于充满氮气的加热炉中，以5‑20℃/min的速度升温至475‑700℃，保温30‑60min得到(111)取向铁酸铋薄膜。