[发明专利]一种粉尘浓度检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201510220545.8 | 申请日： | 2015-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN104819918B | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 陈洁;惠肇宇 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种粉尘浓度检测装置，该检测装置包括淀积电阻、悬臂梁、玻璃衬底、锥状电极和硅衬底；其中，悬臂梁的端面与硅衬底的端面固定连接，淀积电阻位于悬臂梁与硅衬底接触部位的顶部，且淀积电阻连接悬臂梁与硅衬底；淀积电阻的两端由金属导线引出；锥状电极固定连接在硅衬底上表面，且锥状电极的表面设有钛铜合金层；玻璃衬底位于锥状电极的上方，玻璃衬底上设有通孔，且玻璃衬底的表面设有镍涂层。还公开了粉尘浓度检测方法。该检测装置和方法避免了传统的检测装置体积大响应慢的问题，具有便于携带，响应迅速的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粉尘 浓度 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种粉尘浓度检测装置，其特征在于，该检测装置包括淀积电阻(1)、悬臂梁(2)、玻璃衬底(3)、锥状电极(4)和硅衬底(7)；其中，悬臂梁(2)的端面与硅衬底(7)的端面固定连接，淀积电阻(1)位于悬臂梁(2)与硅衬底(7)接触部位的顶部，悬臂梁(2)的根部通过淀积工艺形成淀积电阻(1)，且淀积电阻(1)连接悬臂梁(2)与硅衬底(7)；淀积电阻(1)的两端由金属导线(5)引出；锥状电极(4)固定连接在硅衬底(7)上表面，且锥状电极(4)的表面设有钛铜合金层(6)；玻璃衬底(3)位于锥状电极(4)的上方，玻璃衬底(3)上设有通孔，且玻璃衬底(3)的表面设有镍涂层。
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