[发明专利]一种黄铜矿型薄膜光伏电池及其制作方法

摘要

本发明公开了一种黄铜矿型薄膜光伏电池及其制作方法，该电池包括衬底、覆盖衬底表面的电介质材料层、覆盖电介质材料层的背电极层、覆盖背电极层的含有Na、Bi、和O元素的光吸收层、覆盖含有Na、Bi和O元素的光吸收层的缓冲层和覆盖缓冲层的透明导电窗口层。在该制作方法中，利用含有NaBiO₃的Cu-In-Ga靶材或含有NaBiO₃的Cu-Ga靶材溅射沉积对光吸收层进行Na掺杂，使光吸收层中含有0.02-1.5at％的钠。本发明既可以实现对CIGS光吸收层中钠含量的精确控制，又可以与背电极层、CIGS光吸收层的预制层的工艺相匹配，而且还可以降低制造成本。

主权项

一种黄铜矿型薄膜光伏电池的制作方法，包括光吸收层的制作；其特征在于：在光吸收层的制作过程中，是使用包含有0.1‑15wt％的NaBiO₃和85‑99.9wt％的Cu‑In‑Ga的溅射靶材溅射沉积含有NaBiO₃的Cu‑In‑Ga合金膜层，或者使用包含有0.1‑18wt％的NaBiO₃和82‑99.9wt％的Cu‑Ga的溅射靶材溅射沉积含有NaBiO₃的Cu‑Ga合金膜层，使其对CIGS基薄膜光伏材料的光吸收层进行钠掺杂；使光吸收层中含有0.02‑1.5at％的钠。